system integration
系統(tǒng)集成
ESD閂鎖測(cè)試系統(tǒng)
ESD閂鎖測(cè)試系統(tǒng)是基于日本日新電子（HANWA ELECTRONIC IND.CO.,LTD）產(chǎn)的分析儀器，主要用于模擬人體模式（HBM）、機(jī)器模式（MM）、器件充電模式（CDM）等不同靜電放電模式，并執(zhí)行閂鎖測(cè)試（Latch-up）。該系統(tǒng)具備廣泛的測(cè)試參數(shù)范圍，包括HBM脈沖電壓±10V至±8000V，MM脈沖電壓±10V至±4000V，以及CDM充電電壓0V至±4000V [1-2]。主要使用:HED-S5000R/ HED-N5000 和HED-C5000R
| CDM電壓 | ±4000V | 閂鎖電流脈沖 | ±5mA～±1000mA |
| 測(cè)試管腳數(shù) | 256PIN-1024PIN | 靜放電測(cè)試 | 支持人體模式（HBM）、機(jī)器模式（MM）和器件充電模式（CDM）可模擬不同靜電放電場(chǎng)景對(duì)樣品的敏感度進(jìn)行測(cè)試。 |
| 閂鎖測(cè)試 | 提供電流脈沖范圍±5mA至±1000mA，電壓脈沖范圍0V至±100V，用于檢測(cè)半導(dǎo)體器件的閂鎖效應(yīng)。 | ||
該系統(tǒng)能夠模擬人體模式(HBM)、機(jī)器模式(MM)以及器件充電模式(CDM)對(duì)樣品進(jìn)行靜電敏感度的測(cè)試，并具備Latch up的測(cè)試功能
